真空腔尺寸可以按照需求定制
可多腔体多工位检测
机器检测周期14s
测试漏率 1.0*10-6mbar*l/s
带氦气回收回收率≥98%
氦气浓度10%-99.99%
兼容机器人自动化和倍速链方式
充氦气低压
充氦气中压
充氦气高压
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